ASML披露数据：去年向中国市场共交付约140台光刻机

光刻机方面，2020年累计出货交付258台光刻机系统，其中EUV光刻机31台、ArFi光刻机68台，ArFdry光刻机22台，KrF光刻机103台，I-Line光刻机34台。这些光刻机，72%被用于逻辑芯片制造（比如处理器、GPU等），剩下的28%则被用于存储芯片的制造（比如内存、闪存等）。

按照送达地区划分的话，中国台湾地区排名第一，占比36%；韩国排名第二，占比31%；中国大陆排名第三，占比18%。估算可知，ASML面向整个中国市场交付的光刻机大约有140台左右。

稍稍遗憾的是，由于众所周知的原因，中芯国际订购的EUV光刻机至今未交付。

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